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选对了事半功倍,高纯气体管道安装前配管及附件材质如何选择?

2020-10-30

万丈高楼平地起,气体厂家整个高纯气体管道系统的性能大多基于管道安装工作时的质量。


其中,关于配管和附件材质的选择是工程质量的重点之一。为保证高纯气体在运输中的纯度,减少污染,应选用渗透性小、出气速率低、吸附性差的材料。



目前,半导体行业中高纯气体输送系统管道材料采用的是不锈钢光亮退火管(SS304BA、SS316BA)、不锈钢电抛光管(SS316L-EP)等。在管道安装前,应根据不同的现场环境和使用气体特性,选择合适的配管材料和设计管路型式。

气体厂家


1. 对要求控制高纯气体中总杂质含量≤1.0×10-6及以下的管材应用SS316L-EP管。


2. 惰性气体使用一般的单层管,作为制程用的反应气体,则选用高级别的SS316L-EP管;使用与芯片接触但不参与制程反应的气体则选用SS316L-BA管。


3. 自燃爆炸,有剧毒的特种气体,如SiH4、PH3、AsH3等则考虑使用双套管,它的内/外管材质一般为SS316L-EP/SS316L-AP,此设计的主要目的有两点,首先可保护内管直接受到外力撞击,其次能将由内管渗漏的气体阻绝于外管,并利用相关的检测设备检测。


目前,气体厂家常用的检测设计有正压和负压两种方式,负压设计是将内外管间抽成真空,正压设计则是灌以氮气维持正压,两者皆可接上压力表或者压力警报器检知泄漏状态。



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